NIPPON MUKI 日本無機 ULPA/HEPA 低發塵耐高溫濾網(350℃)

本公司代理經銷日本無機(Nippon MUKI)之耐高溫HEPA濾網，也有本身台製低發塵耐溫濾網，相較台製耐高溫濾網，烤箱升溫到300度以上，及造成自體發塵(本身濾網玻璃纖維釋出)，導致汙染整體製程，此情況下，在要求嚴苛的半導體製程中，常會造成晶圓良率過低。

Nippon Muki (日本無機)，研發出新一代低發塵耐高溫濾網，即便高溫狀態，也能將發塵量降到個位數甚至更低，因此可長時間在高溫350度維持HEPA等級的過濾效率，即便在400度也能維持兩小時左右的低發塵。

高效率350℃耐高溫濾網

• HEPA 99.97%：

HEPA 99.97%高效率過濾網可過濾0.3微米粉塵，高達99.97%的效率，在高溫烘烤下仍可以維持0.3um99.97%效率。HEPA 99.97%過濾效率比HEPA 95%高，相對烤箱內潔淨度也大幅的提升。

• HEPA 95%：

其效率介於HEPA 99.97%及中效率95%之間，雖效率等級比HEPA 99.97%較低，但其壓力損失卻降低許多，故壽命也較長，因壓力損失降低，風量因此而增加，機器負荷降低，可達節能省電。

 

主要代理型號：GCW、GCV、ATMV、ATMVC、ATMCU、GCV、ATMH、ATMCH等。

• 採特殊低發塵設計。
• 不使用密封膠，使用特殊密封方式，不會有密封材碎裂等特性。
• 特殊耐高溫墊片，高溫下不會有附著在箱體之情形，適合長時間使用。
• 尺寸均可以客製化生產。
• LCD廠、封測廠、半導體廠無塵烤箱專用濾網。