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活性碳化學濾網
Activated Carbon Chemical Filters
9款產品
活性碳濾網（又稱化學濾網，英文 Activated Carbon Filter / Chemical Filter）針對一般微粒濾網無法處理之氣態污染物，提供分子層級的吸附與化學反應去除機制。化學濾網處理標的涵蓋揮發性有機化合物（VOC、甲苯、甲醛）、酸性氣體（HCl、SO₂、H₂S、NOₓ、HF）、鹼性氣體（NH₃、胺類）、臭氧及惡臭分子。
濾材結構分為三類：蜂巢型（Honeycomb）以活性碳含浸於蜂窩基材，壓損低、適用高風量系統；顆粒填充型（Granular Bed）以活性碳顆粒填充於框體，吸附容量高、適用高濃度場景；含浸化學濾材（Chemical Impregnated）針對特定酸鹼氣體進行化學鍵結去除。框型設計涵蓋 V-Bank（4V / 6V 多 V 字型）低壓損結構、深褶式高負荷結構、Panel 平板型，並依無塵室風路位置區分為 MAU（Make-Up Air 外氣引入段）與 RC（Recirculation 回風循環段）兩大應用類型。選型關鍵在於目標污染物種類與濃度、碳含量、吸附容量及穿透曲線。
典型應用場域：半導體黃光區 AMC（Airborne Molecular Contamination）控制、化學實驗室抽氣櫃、藥廠溶劑氣體處理、醫院病理科、污水處理廠惡臭控制、印刷與塗裝廠廢氣前處理。
常見問題
化學濾網跟活性碳濾網是同一種嗎？
是的。「活性碳濾網」依材質命名（以活性碳為吸附介質），「化學濾網」依處理對象命名（針對氣態化學污染物），兩者指的都是同一類產品。專業文獻常合稱「活性碳化學濾網（Activated Carbon / Chemical Filter）」。佰聖提供蜂巢型、顆粒填充型、含浸化學濾材三種結構，依目標氣體（VOC、酸鹼氣、AMC）選型。
V-Bank、4V、6V、深褶式、Panel 化學濾網結構怎麼選？MAU 跟 RC 差別？
V-Bank（4V / 6V 多 V 字型）以擴展表面積換取低壓損，適合高風量 MAU 外氣段；深褶式（Deep-Pleat）容塵量大、適合高負荷與長壽命需求；Panel 平板型結構簡單、成本低，適合一般 RC 回風段或低風量場景。MAU（Make-Up Air）處理外氣引入污染物，RC（Recirculation）處理製程內循環風路殘餘 AMC，半導體無塵室通常 MAU + RC 雙段配置以達 ppt 級分子污染控制。
化學濾網處理哪些先進製程特殊氣體？NMP、TMAH、PMA、Boron、Phosphorus 怎麼處理？
先進半導體（EUV / 5nm 以下）對特殊氣體控制極嚴：NMP / PGMEA / PMA（光阻溶劑）以含浸活性碳吸附；TMAH（顯影液揮發物）需鹼性氣體專用 KOH / KMnO₄ 含浸碳；Boron / Phosphorus（離子注入摻雜物）需含浸專用化學濾材螯合去除；Refractory metal 揮發物（W、Ti、Mo）多搭配 HEPA 與化學濾材複合處理。佰聖可依製程氣體 spec 客製化學浸漬配方與穿透曲線測試。
活性碳濾網主要去除哪些污染物？
活性碳濾網用於去除氣態化學污染物，包含 VOCs（揮發性有機化合物）、AMC（空氣分子污染）、臭氧、酸性氣體（SO2、HCl、HF）、鹼性氣體（NH3）、硫化物（H2S）。半導體微影製程對 AMC 控制特別嚴格。
活性碳有哪些種類？
常見有椰殼活性碳（微孔發達，適用小分子吸附）、煤質活性碳（成本低、通用型）、化學浸漬活性碳（針對特定氣體，如 KOH 去除酸性氣體、KMnO4 去除硫化物）。選型需依目標氣體性質決定。
活性碳濾網壽命如何判斷？
活性碳達飽和時吸附效率驟降，可透過出口氣體採樣分析、ppb 級線上監測儀、或依累計流通風量/廢氣濃度估算。建議每 6～12 個月採樣一次，AMC 敏感製程建議安裝線上氣體偵測器。
活性碳濾網可與 HEPA 組合使用嗎？
可以，且是半導體微影區標準配置。常見組合為「前段初/中效 + 活性碳 + 末端 HEPA」，氣態與顆粒污染物同時處理。也有 HEPA 與活性碳整合於單一模組的設計，節省空間。