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恆溫恆濕化學過濾空調箱

  

產品概述

由於Toray機台會產生光學鏡頭霧化之情形，因此對於增加lens壽命，使用化學濾網過濾酸、鹼、有機的物質，以減少 PGMEA、CH3COOH、NH3所產生有機及無機物。

產品特性

►設備架構(僅供參考，可客製化不同尺寸及風量設計)◄

-SUS304亮面箱體

-5HP單相220V 60Hz(東元馬達), 120cmm/80mmAq風機

-濾酸化學濾網x1, 濾鹼化學濾網x1, 濾有機化學濾網x2, HEPA x1 

-10”蛇管 80m

-FFU入封口固定座6pcs

-台達(Delta)變頻器 VFD_M

本 機 器 可 根 據 需 求 客 製 化

SPEC：

供氣口：D300mm *4 D150mm*2

溫度保證：23±0.5℃

濕度保證：55±10%

供氣流量保證：≧150CMM

供氣口數：6

供氣方式：恆流量控制(文式流量閥)

Power：3p380VAC 25A

DI water：1LPM

7℃ chiller water：3CMH

30℃ hot water：1.5CMH