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半導體設備耗材 > TC Wafer (可作客製)
TC Wafer (可作客製)

  

產品概述

►TC為熱電偶（Thermocouple）之簡稱，TC Wafer則是直接鑲嵌于晶圓表面之溫度感測器，達成晶圓溫度即時量測。

►藉由放置于晶圓表面特定位置之溫度感測器，可獲得這些特定位置之真實溫度量測值以及整體晶圓溫度分布；同時，亦可利用此感測器來持續監控在熱處理過程中之晶圓暫態溫度變化，例如：升溫、降溫過程及延遲週期等。（溫度的均勻與否關係良率）

►熱 電 偶 種 類◄

 

►K-Type 簡 介◄

►晶圓尺寸：2~12”
►組成：
   -耐溫線、耐高溫線路板、保護管線
   -提供標準長度 &客製
►使用溫度範圍： ~ 800℃
►精度： ±1.1℃ or ±0.4%
►最大接點數：
2" 4" 6" 8" 12"
   1點       5點     5~9點     9點    9~13點

►T/C 保護線材質：氧化鋁纖維管&石英微管

►T/C 微型接頭：Min Plus
 
►示 意 圖◄
 

►產 品 應 用 面◄

 

►其 他 應 用◄