→ 客製晶元真空取放手臂-陶瓷、特殊金屬一體成型

→ 材質：陶瓷(Ceramic)

→ 材質：SIC、石墨

→ 材質：各種硬脆材料，石英、藍寶石等

→ 材質：其他客製特殊耗材(特殊材質製作皆可評估）