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半導體設備耗材 > 精密恆溫恆濕機
精密恆溫恆濕機

 

產品概述

◎提供面板業、晶圓廠、封裝測試廠精密溫濕度控制設備
→溫度控制精度: ±0.1℃ ~ ±0.05℃
→濕度控制精度:±2%RH ~ ±1%RH
→機台内建溫濕度曲線資料